Advanced Energy เปิดตัว Centra Smart Hub ยกระดับการวัดอุณหภูมิในกระบวนการผลิตชิป

Advanced Energy Industries เปิดตัว Centra Smart Hub อุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิอัจฉริยะในงาน SEMICON West ที่ซานฟรานซิสโก โดยออกแบบมาเพื่อใช้ร่วมกับเซนเซอร์ RSS สำหรับกระบวนการผลิตเวเฟอร์ซิลิคอนและซิลิคอนคาร์ไบด์

เทคโนโลยีนี้ช่วยแก้ปัญหาการรบกวนจากสัญญาณอินฟราเรดในเตาอบแบบเดิม ทำให้การวัดอุณหภูมิมีความแม่นยำและสม่ำเสมอมากขึ้น ซึ่งเป็นปัจจัยสำคัญในการเพิ่มผลผลิตและคุณภาพของชิปในโรงงานผลิตระดับสูง

Centra Smart Hub สามารถวัดอุณหภูมิได้สูงถึง 1,700 องศาเซลเซียส โดยให้ความแม่นยำสูงกว่าโซลูชันมาตรฐานทั่วไปถึง 40% อุปกรณ์ถูกออกแบบมาให้ติดตั้งในตู้เครื่องมือและเชื่อมต่อกับเซนเซอร์ที่ติดตั้งโดยตรงบนห้องผลิต

ระบบยังรองรับโปรโตคอล ECAT และ Ethernet ทำให้สามารถเชื่อมต่อเข้ากับสถาปัตยกรรมระบบการผลิตในปัจจุบันได้อย่างรวดเร็ว ช่วยให้ผู้ผลิตชิปสามารถนำนวัตกรรมใหม่เข้าสู่ตลาดได้เร็วขึ้น