ACM Research เปิดตัวระบบล้างเวเฟอร์รุ่นใหม่ เพิ่มประสิทธิภาพรีไซเคิลกรดซัลฟิวริก

ACM Research ผู้ผลิตอุปกรณ์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ประกาศยกระดับระบบ Single-Wafer Hot SPM ด้วยเทคโนโลยีการรีไซเคิลกรดซัลฟิวริกใหม่ ซึ่งสามารถนำกรดกลับมาใช้ใหม่ได้ถึง 70% โดยยังคงรักษามาตรฐานการควบคุมอนุภาคที่เข้มงวดไว้ได้

นวัตกรรมนี้ผ่านการทดสอบใช้งานจริงกับลูกค้าโรงหล่อชิป (Foundry) ในกว่า 50 กระบวนการผลิต ช่วยลดการใช้กรดซัลฟิวริกได้ประมาณ 400 ตันต่อเครื่องต่อปี ซึ่งไม่เพียงแต่ช่วยลดต้นทุนการดำเนินงาน แต่ยังช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตทั้งในกลุ่มชิปหน่วยความจำและชิปประมวลผล

ระบบใหม่นี้ได้รับการออกแบบหัวฉีดที่เป็นเอกสิทธิ์เฉพาะ ช่วยป้องกันการปนเปื้อนจากละอองกรดโดยไม่ต้องหยุดเครื่องเพื่อล้างด้วยน้ำปราศจากไอออน (DI Water) เป็นระยะเหมือนระบบทั่วไป

ความสามารถในการรักษาระดับอนุภาคให้ต่ำกว่า 15 ตัวที่ขนาด 15 นาโนเมตร ทำให้ระบบนี้มีประสิทธิภาพเหนือกว่าโซลูชันหลักที่มีอยู่ในตลาดปัจจุบัน ช่วยให้ผู้ผลิตสามารถเพิ่มผลผลิต (Yield) ได้อย่างต่อเนื่อง